Français
English
Deutsch
Español
Italiano
Português
日本語
한국어
Русский
Maison
Équipement de dépôt chimique en phase vapeur par plasma à courant continu à cathode chaude (DCCVD)
L'équipement de dépôt chimique en phase vapeur à plasma à courant continu à cathode chaude (DCCVD) est développé sur la
Envoyez votre demandeDESCRIPTION
Informations de base
| Modèle NON. | CY-O1200-DCCVD |
| Matériel | Acier |
| Taper | Four tubulaire |
| Vide ultime | 0.1~1PA |
| Temps d'arrêt de la pompe | 5 ~ 15 minutes |
| Réglage de l'évent | Assurer l'uniformité du pompage |
| Courant de travail | 6~15A |
| Tension de fonctionnement | 600~1200V |
| Forfait transport | Carton en bois contreplaqué |
| Marque déposée | CYKY |
| Origine | Zhengzhou, Chine |
| Code SH | 85143090 |
| Capacité de production | 20 ensembles/mois |
Description du produit
L'équipement de dépôt chimique en phase vapeur à plasma à courant continu à cathode chaude (DCCVD) est développé sur la base d'une décharge luminescente à cathode froide conventionnelle et est principalement utilisé pour le dépôt et la croissance de monocristal de diamant ou de film polycristallin.
La zone de composition et les caractéristiques de base de la décharge luminescente à cathode chaude :
La décharge luminescente de l'équipement de dépôt chimique en phase vapeur par plasma à courant continu à cathode chaude peut être divisée en quatre zones le long de l'axe de la cathode à l'anode : couche luminescente de cathode, zone sombre de Faraday, boule de plasma luminescente à colonne positive et couche luminescente d'anode. Parmi eux, la couche luminescente cathodique est une fine couche électroluminescente proche de la cathode, où se produit l'énorme décharge d'onde, qui joue un rôle important dans le processus de décharge luminescente; la zone sombre de Faraday est la zone de transition entre la zone cathodique et la zone colonne positive. Les électrons entrent en collision dans la région de la cathode et perdent de l'énergie, et les électrons lents ne suffisent pas à provoquer une ionisation et une excitation, ils présentent donc une zone sombre qui n'émet pas de lumière ; la boule de plasma luminescent dans la zone de la colonne positive se trouve à la position la plus évidente de la décharge luminescente et sa largeur est d'environ la cathode. L'espacement des anodes est d'environ 4/5 et la longueur change avec le changement de l'espacement des anodes et des cathodes ; par rapport à la zone de colonne positive brillante, la couche de lueur d'anode émet une lumière légèrement plus sombre.
La cathode chaude, la pression de gaz élevée et la densité de courant élevée sont les caractéristiques de base de la décharge luminescente à cathode chaude qui sont différentes de la décharge luminescente à cathode froide conventionnelle. Pendant la décharge, il y a une distribution d'intensité lumineuse, de couleur et de luminosité entre les électrodes, qui sont divisées en quatre zones évidentes. La décharge luminescente couvre toute la surface de la cathode, et la tension de décharge augmente avec l'augmentation du courant de décharge ; l'émission d'électrons de cathode est combinée par l'émission thermique et le processus γ, et le degré de polarisation entre les deux est principalement déterminé par la température de cathode ; la zone de chute de cathode est de maintenir la lueur La partie indispensable de la décharge lumineuse, l'épaisseur de cette zone est très mince, il y a une chute de potentiel élevée, donc l'intensité du champ dans cette zone est très élevée et génère une énorme décharge d'onde. La densité de courant de la décharge luminescente à cathode chaude est bien supérieure à celle de la décharge luminescente à cathode froide.
Paramètres techniques DCCVD de l'équipement de dépôt chimique en phase vapeur à plasma c.c. à cathode chaude :
Chambre de dépôt | Couche intermédiaire refroidie à l'eau en acier inoxydable | Concevoir la taille de cavité appropriée en fonction de la taille de l'électrode pour s'assurer qu'il n'y a pas de décharge entre la paroi de la cavité et l'électrode |
Voie à cavité ouverte | Soulevez pour ouvrir la cavité ou ouvrez la porte à l'avant, pratique pour le lofting et le nettoyage | |
Fenêtre d'observation | Configurez plusieurs fenêtres d'observation pour vous assurer que la cathode, l'anode et la table de dépôt peuvent être observées | |
Système de vide | Pompe à vide | Le vide est pompé par une pompe mécanique, pas besoin de configurer la pompe moléculaire |
Vide ultime | 0.1~1Pa | |
Temps d'arrêt de la pompe | 5 ~ 15 minutes | |
Réglage de l'évent | Assurer l'uniformité du pompage | |
Plage de réglage de la pression d'air | 0.1Pa~30KPa | |
Soupape de décharge | Peut être restitué à l'atmosphère | |
Jauge à vide | La jauge à vide de haute précision mesure avec précision la valeur de pression de la cavité | |
Système de distribution de gaz | Configuration de la source d'air | 5 sources de gaz d'hydrogène, de méthane, d'azote, d'argon et d'oxygène, avec une supplémentaire réservée pour la sauvegarde |
Contrôle du débit de gaz | Le débit volumique est contrôlé par MFC et un débitmètre avec une plage appropriée est sélectionné en fonction de la taille de la cavité. Différentes tailles de débit affecteront le temps de montée en pression. En général, le débit d'hydrogène : méthane : azote : argon : oxygène est de 40:1:1:40:1 | |
Réglage de l'admission d'air | Réglage d'entrée d'air raisonnable pour assurer l'uniformité de l'entrée d'air | |
Système de refroidissement par eau | Puissance du refroidisseur d'eau | La puissance de refroidissement et la tête du refroidisseur d'eau doivent correspondre à la génération de chaleur de l'équipement et au débit d'eau de refroidissement, et la température doit être réglable, généralement réglée à environ 20°C |
Soupape | La chambre de dépôt, la cathode et l'anode doivent toutes être refroidies, et un séparateur d'eau doit être installé, et des vannes manuelles sont réglées à l'entrée et à la sortie de chaque branche sur le séparateur d'eau. | |
Température de fonctionnement | La température de fonctionnement de l'anode est de 600-1100ºC, la température de fonctionnement de la cathode est de 700-1100ºC | |
Pouvoir | Tension de fonctionnement | 600 ~ 1200 V, tension de sortie réglable |
Courant de travail | 6~15A | |
Système de contrôle | 1) Contrôle du débit de gaz ; 2) Contrôle de levage d'électrode, affichage en temps réel de la distance de cathode et d'anode, précision de contrôle 1 mm; 3) Surveillance et affichage de la température de la cathode, de l'anode et du substrat ; 4) Certaines fonctions peuvent être ajustées manuellement, telles que la pression d'air ; 5) Alarme de défaut pour éviter les erreurs de fonctionnement ; | |
Électrode | 1) Le diamètre de l'anode est de 60 mm et le matériau est en cuivre 2) Le diamètre de la cathode est de 80 ~ 100 mm et le matériau est du molybdène. Après une utilisation prolongée, le carbone se dépose facilement à la surface de la cathode et la décharge est instable. Par conséquent, il doit être conçu comme une structure remplaçable ; 3) La distance entre la cathode et l'anode est réglable, la plage est de 10 à 60 mm, la distance est affichée en temps réel et la précision de réglage est de 1 mm. 4) Les bords de la cathode et de l'anode peuvent être arrondis pour empêcher la décharge des bords ; 5) L'anode peut être polarisée négativement et la plage de tension de polarisation est de 0 à 400 V ; 6) Le bord de l'électrode est isolé pour empêcher la décharge de bord ; | |
Fondée en 2005, Zhengzhou CY Scientific Instrument est une société spécialisée dans le développement et la production d'équipements de recherche en technologie de laboratoire. Les produits sont mélangés, pressés, brûlés, coupés, broyés, polis, enrobés, équipements analytiques et consommables associés. Les produits comprennent des équipements de frittage de laboratoire, des équipements de revêtement, etc. À l'heure actuelle, il a été exporté vers 25 pays et régions tels que les États-Unis, l'Europe et l'Asie du Sud-Est, et a été bien accueilli par diverses unités de recherche scientifique.
Nous avons une équipe de recherche et développement technologique mature, le nombre de techniciens est de 33, la société compte 150 personnes, plus de 500 mètres carrés de bureaux, l'usine couvre une superficie d'environ 1 500 mètres carrés située dans le parc industriel électronique Zhengzhou High-tech Zone. Les produits sont principalement situés sur le marché de la recherche, au service de la recherche scientifique dans les laboratoires des universités et des collèges, et peuvent également personnaliser les produits en fonction de vos besoins.
Q. Êtes-vous un fabricant ou une société commerciale ?
UN.Nous sommes des fabricants professionnels d'instruments de laboratoire, avons leur propre équipe de conception et usine, avons une expérience technique mature et pouvons garantir la qualité des produits et le prix optimal.
Q. Comment fonctionne le système de service après-vente des produits de votre entreprise ?
UN. La période de garantie du produit est de 12 mois, nous pouvons fournir une maintenance à vie. Nous avons des services professionnels avant-vente et après-vente qui peuvent vous répondre dans les 24 heures pour résoudre tout problème technique.
Q. Combien de temps dure votre délai de livraison ? Si je veux personnaliser l'instrument, combien de temps cela prend-il ?
UN. 1. Si les marchandises sont en stock, c'est 5-10 jours. 2. Nous pouvons fournir des services personnalisés à nos clients. Cela prend généralement 30 à 60 jours selon les spécifications de l'instrument personnalisé.
Q. L'alimentation et la prise de notre pays sont différentes. Comment le résolvez-vous ?
UN.Nous pouvons fournir un transformateur et une prise selon vos exigences locales en fonction de la prise d'alimentation de différents pays.
Q. Comment payer ?
UN.T/T, L/C, D/P, etc., il est recommandé d'utiliser la garantie commerciale Alibaba.
Q. Comment est le paquet de marchandises ? Modes de livraison?
UN.1. Emballage standard de boîte en bois de signe de fumigation d'exportation 2. Express, air, transport maritime selon les exigences du client, trouvez le moyen le plus approprié.
Plus de questions, veuillez contacter le service client.
